半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理
半導(dǎo)體行業(yè)廢氣主要指的是電解質(zhì)、硅、金屬、化學(xué)物質(zhì)和有機(jī)物質(zhì)等的廢氣。半導(dǎo)體工藝廢氣中的電解質(zhì)廢氣主要來(lái)源于表面處理過(guò)程的清洗工序,而硅、金屬和化學(xué)物質(zhì)廢氣主要來(lái)源于制造工藝中的燒結(jié)、熔體澆注、清洗、蒸鍍和磷化等工序。有機(jī)物質(zhì)廢氣主要來(lái)源于制造過(guò)程中使用的有機(jī)溶劑和有機(jī)物質(zhì)的燃燒反應(yīng)。
半導(dǎo)體廢氣處理方法
目前,半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣處理方法主要以下幾種方法:1、活性炭吸附法;2、燃燒法;3、化學(xué)法。酸堿性廢氣可以選用洗滌塔、噴淋塔、吸收塔。
活性炭吸附是利用活性炭的吸附性質(zhì),通過(guò)接觸吸附,使廢氣中的有害物質(zhì)與活性炭表面結(jié)合,從而達(dá)到凈化廢氣的目的。燃燒法是將廢氣中的有害物質(zhì)通過(guò)燃燒的方式銷(xiāo)毀,減少對(duì)環(huán)境的污染。化學(xué)吸收是利用吸收劑的吸收性質(zhì),使廢氣中的有害物質(zhì)與吸收劑發(fā)生化學(xué)反應(yīng)或物理反應(yīng),使其轉(zhuǎn)化為無(wú)害物質(zhì),從而凈化廢氣。
目前,半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)不同步,我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)主要以《半導(dǎo)體工業(yè)大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》為主,但是這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的主要適用對(duì)象是生產(chǎn)芯片的企業(yè),而且許多地區(qū)都有自己的排放標(biāo)準(zhǔn),所以最終需要參考當(dāng)?shù)丨h(huán)保要求。
隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷進(jìn)步,半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣處理技術(shù)也在不斷發(fā)展。根據(jù)不同的工藝流程,廢氣處理設(shè)備也會(huì)有所不同,不僅可以滿(mǎn)足環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn),還能大大降低企業(yè)處理成本。